10月18日，中国微米纳米技术学会第二十八届学术年会暨第十七届国际会议（CSMNT2026）专题分会场六——“微纳加工与集成技术”在绍兴成功举办。来自全国各地高校、科研院所与产业一线的专家学者和师生代表齐聚绍兴，围绕"聚越国古都·促微纳转化"的大会主题，共话微纳加工与集成技术的前沿突破与转化之路。

分会场现场合影

张大成教授

王玮教授

刘景全教授

本分会场由中国微米纳米技术学会微米纳米加工技术分会、微米纳米加工技术全国重点实验室、上海市真空学会、《纳微快报（英文）》（Nano-Micro Letters）联合组织，北京大学张大成教授、北京大学王玮教授、上海交通大学集成电路学院（信息与电子工程学院）刘景全教授共同担任分会场主席。全天共安排报告25场，包括主题报告4场、邀请报告13场、口头报告8场，议题覆盖硅基三维微纳加工与集成、先进封装与微系统集成、非硅微纳加工与集成、微纳加工与集成应用四大方向。从关键材料到核心工艺，从平台装备到系统集成，一场场报告层层递进，勾勒出我国微纳加工领域从基础研究走向产业应用的完整创新图景。

分会场主席、分会主任委员张大成教授致开场辞，代表分会和分会场主席团向远道而来的与会嘉宾表示热烈欢迎，并介绍了全天议程安排。他寄语与会同仁以本分会场为纽带，深入交流、碰撞思想，共同推动微纳加工与集成技术的协同创新，为全天的学术交流拉开了序幕。

四场主题报告构成本分会场的主线，分别从产业趋势、表征方法、核心材料、国家需求四个维度，探讨了微纳加工技术发展中的关键问题。甬江实验室张瓦利研究员以《异构集成驱动下的微纳制造关键工艺与技术挑战》开篇，从异构集成这一产业变革趋势切入，系统梳理了微纳制造关键工艺面临的挑战与破局路径，为全天讨论定下基调；电子科技大学王曾晖教授的报告《基于激光干涉的原子级机械器件工艺质量检测方法》，将工艺质量表征推进至原子级精度，为高端微纳器件的"精工细作"提供了方法支撑。湖南大学段辉高教授在《纳米干膜光刻胶与离散式光刻工艺》中，聚焦光刻胶这一核心材料，展示了我国在纳米干膜光刻胶与新型光刻工艺上的自主创新成果；中国工程物理研究院激光聚变研究中心靶科学与制备部主任、党委书记万小波的《HDC纳米晶金刚石微球制备及检测技术》，则面向国家重大需求，展现了微纳加工技术服务国家战略的使命担当。

杨卓青研究员作报告

十三场邀请报告沿“工艺与装备”“器件与系统”两条脉络展开，呈现出微纳加工技术多点突破、百花齐放的生动局面。在工艺与装备创新方面，香港科技大学（广州）王蕴达副教授分享了面向异构微系统制造的微转印技术进展，西湖大学李西军研究员介绍了基于多重曝光的环栅晶体管集成电路技术，上海交通大学集成电路学院杨卓青研究员展示了微细圆柱基底表面3D曲面光刻技术及其应用，中微半导体设备（上海）股份有限公司何炎致副总监带来了MEMS深硅刻蚀解决方案，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所林文魁高级工程师介绍了微纳加工平台及共性技术建设，清华大学梁仁荣高级工程师分享了立足4英寸工艺线的微纳加工实验教学体系构建的探索与实践，中国航天国际控股有限公司智慧研究所所长许戎戎研究员、中国兵器工业第二一四所研究所郭立建高级工程师分别介绍了基于微纳增材制造的高性能射频器件与微系统、微光机电系统先进制造技术。从实验室工艺到量产装备，从平台建设到人才培养，覆盖了工艺创新的多个关键环节。

张永研究员作报告

曾敏副研究员作报告

在器件与系统集成应用方面，电子科技大学张晓升教授报告了基于三维印刷集成制造的先进微纳传感技术，上海交通大学集成电路学院张永研究员展示了先进纳米制造的光电子集成芯片，北京大学郑雨晴研究员分享了柔性可拉伸电子器件集成技术，上海交通大学集成电路学院曾敏副研究员介绍了单原子催化活化驱动的MEMS智能电子鼻全链条集成方案，北京大学崔健高级工程师报告了MEMS音叉谐振器力学性能误差片上辨识方法及修调工艺。一个个面向智能感知、光电子、柔性电子等前沿方向的集成方案，展现了微纳加工技术在多个领域的应用潜力。

八场口头报告同样精彩纷呈。上海交通大学周晨晨副教授、浙江大学尹海龙研究员、北京中关村学院张致同助理教授、华南理工大学高娇副教授、河北科技大学刘光副教授、华中科技大学曾双双教授、华南理工大学邢迪教授、空芯微医疗科技（苏州）有限责任公司研发负责人刘龙，分别围绕微流控与光/热固化耦合的微结构可控制备、纳秒激光辅助AFM探针亚20纳米结构加工、单次曝光立体光刻三维神经电极阵列、皮秒激光与原子层沉积仿生超疏水表面、金属基仿生微结构表面防粘机制、限域分子束纳米制造、面向片上微纳激光的功能微纳结构设计与制造、聚合物基微针阵列电极等方向汇报了最新进展。青年学者与企业研发一线的同台亮相，展现了领域青年研究力量的活力。

自由交流与问题研讨环节，与会专家学者围绕报告内容展开热烈讨论。本次分会场既是一次前沿成果的集中展示——从关键材料、核心工艺到平台装备、系统集成，全链条创新成果竞相涌现；更是一座深度对话的桥梁——学术界与产业界在此同频共振，基础研究与应用需求在此双向奔赴。未来，中国微米纳米技术学会微米纳米加工技术分会将继续发挥平台纽带作用，团结凝聚领域科技工作者，深化产学研协同创新，助推微纳加工与集成技术加快实现高水平自立自强，为制造强国、科技强国建设贡献微纳力量。