综合新闻
"上海交通大学-精工电子微制造、复合科学技术联合实验室"成立
上海地区作为中国电子工业的龙头和中国半导体行业的领头羊，近年来以其迅猛的发展势头，成为全世界注目的焦点。上海交通大学在材料、电子、微纳米技术等领域的研究上，有着雄厚的基础和显著的成果。 日本精工电子公司多年来致力于为高科技研究提供有效手段的开发研制，在电子工业、材料微复合、微纳米加工等领域取得了令人瞩目的成就。为了充分发挥上海交大和日本精工电子、名校与名企双方的战略性强强联合优势，进一步促进和扩大在上海等周边地区的新材料电子工业及微加工技术的科学研究、技术应用，12月27日，双方在上海交通大学正式宣布并成立"上海交通大学 - 精工电子微制造、复合科学技术联合实验室"，并于今天举行协议签字和联合实验室成立揭牌仪式。上海市计委副主任张鳌、上海市集成电路行业协会副秘书长薛自、市科委等有关领导，上海交大副校长丁文江、上海交大金属基复合材料国家重点实验室主任、长江学者张荻教授，日本精工电子公司全权代表船本先生，以及上海市集成电路研发中心、上海宏力、上海华岭等单位专家代表出席联合实验室签字和成立仪式。
在成立仪式上，国际著名的日本精工电子公司专门为该联合实验室提供价值总计为1.4亿日元的FIB -SMI2200微集离子束FIB（Focused Ion Beam）设备和相关配置设备。据悉，目前日本精工电子公司的FIB设备在日本市场具有65%的市场占有率，此次提供的FIB SMI - 2200设备是目前日本精工电子公司最新研制的型号，也是日本精工电子公司进入中国的第一台最先进的FIB专用设备。
据介绍，该设备是利用镓离子源聚焦于材料的表面，可根据不同的束流强度，通入不同的辅助气体，可以分别进行材料的微加工、微复合尤其是可用于直接对8英寸半导体材料进行微细加工，微电路的加工、修复等，并可对三维纳米精度的物体进行制备加工。同时，该设备还可以为TEM、SEM、EDX、AES等分析，进行定位定向分析样品的制备，是现代细微制造、加工和微复合制造工艺及先进材料研究中不可缺少的重要大型精密设备。
在联合实验室成立仪式上，交大材料科学与工程学院院长毛大立教授介绍说，新成立的联合实验室，首先将对学校的学科建设、学院的学科拓展以及材料领域的研究新方向和新目标进行设定等，产生积极的影响；其次将对上海及周边地区的微电子产业的可持续发展，加速培养和培训一批社会急需的掌握微电子材料及器件前端技术研究手段和开发工具的高级人才，成为这类专门人才的培养基地；第三此次由日本精工电子公司提供的FIB-SEI2200设备与上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室扫描电子显微镜、分析透射电子显微镜等仪器设备，将构成先进的微加工制造和材料分析的平台，形成先进材料的微加工 - 微复合、微分析一体化的研究平台，这一平台将能为上海及周边地区的电子工业和新材料发展提供先进的技术支持并做出积极贡献。
在成立仪式上，国际著名的日本精工电子公司专门为该联合实验室提供价值总计为1.4亿日元的FIB -SMI2200微集离子束FIB（Focused Ion Beam）设备和相关配置设备。据悉，目前日本精工电子公司的FIB设备在日本市场具有65%的市场占有率，此次提供的FIB SMI - 2200设备是目前日本精工电子公司最新研制的型号，也是日本精工电子公司进入中国的第一台最先进的FIB专用设备。
据介绍，该设备是利用镓离子源聚焦于材料的表面，可根据不同的束流强度，通入不同的辅助气体，可以分别进行材料的微加工、微复合尤其是可用于直接对8英寸半导体材料进行微细加工，微电路的加工、修复等，并可对三维纳米精度的物体进行制备加工。同时，该设备还可以为TEM、SEM、EDX、AES等分析，进行定位定向分析样品的制备，是现代细微制造、加工和微复合制造工艺及先进材料研究中不可缺少的重要大型精密设备。
在联合实验室成立仪式上，交大材料科学与工程学院院长毛大立教授介绍说，新成立的联合实验室，首先将对学校的学科建设、学院的学科拓展以及材料领域的研究新方向和新目标进行设定等，产生积极的影响；其次将对上海及周边地区的微电子产业的可持续发展，加速培养和培训一批社会急需的掌握微电子材料及器件前端技术研究手段和开发工具的高级人才，成为这类专门人才的培养基地；第三此次由日本精工电子公司提供的FIB-SEI2200设备与上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室扫描电子显微镜、分析透射电子显微镜等仪器设备，将构成先进的微加工制造和材料分析的平台，形成先进材料的微加工 - 微复合、微分析一体化的研究平台，这一平台将能为上海及周边地区的电子工业和新材料发展提供先进的技术支持并做出积极贡献。
蒋宏
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